真空泵包括水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等,其特点也有很多。
(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速;
(2)转子具有良好的几何对称性,故振动小,往复式真空泵,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙,w4往复式真空泵,不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;
(3)泵腔内*用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;
(4)泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;
(5)压缩比较低,对氢气抽气效果差;
(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面,加工和检查比较困难。
对于较大型的高真空应用设备,也可适当加强前级泵的预抽能力,进一步缩短抽气时间,由于预抽时间与整个排气过程相比很短,所以前级泵的使用时间也很短,往复式真空泵厂家,因此可以兼作多套设备的预抽作用,而这往往是非常现实的真空泵油在有空气(或氧气)及金属催化剂的存在下,一定温度下的氧化时间里,会呈现油品的酸值、粘度变化及生成沉淀物的状况。会随运用过程而发作氧化作用,因此逐步生成一些醛、酮、酸类和胶质、沥青质等物质,氧化安定性则是抑止上述有利于油品运用的物质生成的性能。水蒸气在紧缩过程中会凝结成水滴,并与泵混合构成悬浮液,不只会使真空度降落,也能使泵腔与转子生锈,po坏密封面,使泵的极限真空度降落。为此,W3型往复式真空泵,防止水蒸气对机械泵的污染很重要。
罗茨泵和油增压泵都可以作为中真空泵,分子增压泵有较高的压缩比,这除了使它能获得清洁真空外还具有优异的高真空性能,同时在中真空范围也有**qiang的抽气能力。这就使分子增压泵成为目前兼有中高真空性能的真空泵,所以只需要与低真空泵配合便能组成性能堪比三级机组的高真空机组。具体地讲由于分子增压泵耐压高,所以可使前级泵易于处于高流量状态;而分子增压泵吸入压力高,减缓了前级泵的预抽负担。分子增压泵可以在100-50Pa工作,前级泵从大气到这一压力,基本遵从每经过时间压力降低一个数量级的规律,因此,机组可以具有很高的抽气效率。简化高真空机组,取消罗茨泵是分子增压泵的又一个优势。